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自清洗過濾器濾材有金屬網、金屬氈、玻璃纖維、植物纖維、軟磁材料等多種。金屬網由金屬細絲編織而成，分方目和斜紋細目，它流通阻力小，可在很高的溫度范圍使用。主要用于系統的粗過濾，它屬于表面過濾，可反復清洗使用。

金屬氈是由金屬纖維制成的氈，具有玻璃纖維的性能，屬縱深過濾。它具有迷宮式三維構造，疏松度高，流通阻力小。納污能力強，使用壽命長，能在很大的溫度范圍使用。精度范圍是5-20μm。由于它價格昂貴，只有在過濾特殊介質或是要求高溫時才使用，可清洗反復使用。

玻璃纖維是現在最常見也是性能最好的濾材之一，廣泛應用在液壓系統當中，屬于縱深過濾，精度范圍是1-30，并受工作環境變化影響較小，流通阻力小，納污能力強。在超過規定的壓差范圍里仍有很高的濾除細微顆粒的能力。化學耐受性好，但不適用于水乙二醇混合液。有機化學纖維也是一種很不錯的濾材，它的精度范圍是3-30μm，屬縱深過濾，可耐受很高的壓差，流通阻力小，納污量大。化學耐受力強，特別適用于乳化液和合成液壓液。耐撕扯，但精度隨溫度變化略有變化。